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제목 고분자 재료 기판에 완충층이 증착된 투명 전도성 산화막및 그 제조방법(Transparent Conductive Oxide Thin Film Deposited withBuffer Layer on Polymer Substrate and Its Preparation)
출원번호 1020060072321 출원일자 2006-07-31
등록번호 10-0733915-0000 등록일자 2007-06-25
발명자 이종무, 김숙주 출원인 인하대학교 산학협력단
기술 내용
본 발명은 고분자 재료 기판에 완충층이 증착된 투명 전도성 산화막 및 그 제조방법에 관한 것이다. 특히, 고분자 재료 기판, 상기 고분자 재료 기판 상에 증착된 ZnO 완충층, 및 상기 ZnO 완충층 상에 증착된 Ga 도핑된 ZnO 박막을 포함하는 투명 전도성 산화막 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 투명 전도성 산화막은 고분자 재료 기판의 불안정성이 개선되어 구조적, 전기적 또는 광학적 특성 등이 우수하므로 각종 액정 표시장치, 플라즈마 표시장치, 유기발광 표시장치, 태양전지 등의 플렉서블(flexible) 표시장치의 일부분인 투명 전극에 유용하게 이용될 수 있다. GZO, ZnO 완충층, 마그네트론 스퍼터링, PET, 플렉서블(flexible) 표시장치