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제목 물결형상의 단면을 갖는 MEMS 캔틸레버 구조 및 그제조방법(MEMS cantilever structure with wave shape and method for manufacturing thereof)
출원번호 1020080014112 출원일자 2008-02-15
등록번호 10-0917249-0000 등록일자 2009-09-07
발명자 장성필, 박제영 출원인 인하대학교 산학협력단
기술 내용
본 발명에 따르면, 기판의 상면에 구비되는 지지대; 일측은 지지대의 상면에 고정되고, 일측에서 연장된 타측은 기판의 상면과 나란히 이격되어 갭을 형성하여 운동가능하고, 일측과 타측 간의 경계부에 상하로 관통된 관통홀이 하나 또는 그 이상으로 형성된 운동판; 및 운동판의 상면에 놓여지되 관통홀의 상측에 구비되어, 경계부 측의 단면이 물결형상을 갖는 보조판;을 포함하는 물결형상의 단면을 갖도록 하는 MEMS 캔틸레버 구조 및 그 제조방법이 제공된다. 개시된 물결형상의 단면을 갖는 MEMS 캔틸레버 구조 및 그 제조방법에 따르면, 운동판에 형성된 관통홀의 상측에 보조판을 더 설치하여 그 단면이 물결형상을 갖도록 함으로써 운동판의 내구성을 증가시켜 운동과정 중 발생가능한 변형 문제를 최소화시키며 그에 따라 외팔보 성능의 정확성을 향상시키고 수명 연장을 도모할 수 있으며, 극소형, 초정밀 제품에 적용 가능하다. MEMS, 캔틸레버, 운동판, 물결형상